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场发射扫描电镜

发布时间:2011/9/27  发布者:  浏览次数:5784
设备名称:场发射扫描电子显微镜
规格型号:S-4800 
制造商Hitachi     
主要技术指标
二次电子像分辩率:
1.0nm (15 KVWD=4mm)
1.4nm (1 KVWD=1.5mm减速模式)
2.0 nm (1 KVWD=1.5mm普通模式)
主要附件
电制冷能谱仪、电子束减速功能
制样设备
离子溅射仪
主要功能
1.                 材料表面形貌观察:显微结构、尺寸及相互作用、相组成及相分布。
2.                 材料成分分析:元素定性分析、定量分析、线分析、面分析。
应用范围
        材料学、化学、生物科学等领域的物质表面形貌、尺寸及成分分析。

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