设备名称：场发射扫描电子显微镜
规格型号：S-4800
制造商：Hitachi
主要技术指标
二次电子像分辩率：
1.0nm (15 KV，WD=4mm)
1.4nm (1 KV，WD=1.5mm，减速模式)
2.0 nm (1 KV，WD=1.5mm，普通模式)
主要附件
电制冷能谱仪、电子束减速功能
制样设备
离子溅射仪
主要功能
1. 材料表面形貌观察：显微结构、尺寸及相互作用、相组成及相分布。
2. 材料成分分析：元素定性分析、定量分析、线分析、面分析。
应用范围
材料学、化学、生物科学等领域的物质表面形貌、尺寸及成分分析。