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资产编号 |
NERCN-INF-0912 |
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仪器名称 |
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英文名称 |
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规格/型号
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*/Ambios XP200+Xi100 |
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生产厂商 |
AMBIOS TECHNOLOGY |
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国别 |
美国 |
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所属单位 |
分析测试中心>>2-210 |
放置地点 |
2-210(2-210) |
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负责人 |
王丹 联系电话：8030 邮箱：jinglu2004@163.com |
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使用日期 |
2017/6/1 |
电子邮箱 |
jinglu2004@163.com |
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性能指标 |
台阶仪：
1. 最大扫描长度50mm（线性），最大采样点数60000，探针压力范围0.05-10mg
2. 彩色摄像头带变焦
3. 最大样品厚度1.25”，最大垂直测量范围：400um，垂直分辨率：1à@10um，15à@100um，62à@400um
4. 样品运动XY范围150*150mm（马达驱动），保证10à重复性（大约1um台阶高度，10次测量，1标准偏差）
表面轮廓仪：
1. 垂直测量范围：0.1nm 至 1mm
2. 垂直分辨率：<0.1nm Ra
3. RMS重现性： 0.01nm
4. 垂直扫描速度：可达14.4微米/秒
5. 横向分辨率： 0.08 至13.1微米
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主要应用 |
1. 台阶仪应用于薄膜厚度测量、物体表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量；
2. 光学轮廓仪提供精确、非接触表面测量，可运用于微机械系统、薄膜、光学器件、陶瓷、高级材料等领域。
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样品要求 |
干燥，无挥发性薄膜。
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仪器说明 |
台阶仪和表面轮廓仪主要用于表面粗糙度和表面形貌测量。
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| 学习资料 |
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